| 1999年10月 1日 | |||
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| 半導体検査自動顕微鏡「MX80（オートフォーカスタイプ）」 |
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| オリンパス光学工業株式会社(社長：岸本正壽)は、操作の自動化・電動化の追求により、次世代クリーンルームに対応する快適な操作環境を実現し、世界最高レベルのUIS光学系(注1)を採用した半導体検査自動顕微鏡「MX80」シリーズを新発売いたします。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 近年、半導体製造においては、半導体の高集積化に伴い、検査の微細化対応と次世代クリーンレベルへの対応に加え、操作の自動化と最適な観察条件設定の電動化が強く求められています。
「MX80」シリーズは、観察に関わる操作の自動化・電動化を徹底追求し、予め設定した最適な観察条件を再現する光学調整等の自動化、50nm分解能( Z方向)の電動フォーカスの採用、対物倍率250x(総合倍率2500x)まで対応可能になった新設計の高速・高精度オートフォーカスを搭載するなど、近年の高集積化した半導体デバイス検査に快適な操作環境を提供いたします。また、世界最高水準のUIS光学系をベースに、当社の技術革新により、対物倍率100x(総合倍率1000x)以上でのコントラストの向上を図っています。さらに、蛍光観察を含む全ての落射観察方法が可能になり、顕微鏡観察の可能性を広げました。 オプションでは、透過照明ユニットを用意するなど、200/300mmのウエハ検査だけでなく、フォトマスク(注2)検査やFPD(Flat Panel Display)(注3)検査にも対応するなど、拡張性にも優れています。 |
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| 「MX80」シリーズは、200mmウエハ対応の検査顕微鏡として業界の標準機となっている「MX50」シリーズ、および平成10年に発売の300mmウエハ対応半導体・FPD検査顕微鏡「MX50L」シリーズの上位機にあたり、当社検査顕微鏡MXシリーズでは最上位機種になります。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 主な特長 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 主な仕様 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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オリンパス光学工業株式会社は、2003年10月1日をもってオリンパス株式会社と社名変更いたしました。
- 本リリースに掲載されている内容は、報道関係者向けに発表した情報です。
- 掲載内容は、発表日現在の情報であり、ご覧になっている時点で、予告なく情報が変更（生産・販売の終了、仕様、価格の変更等）されている場合があります。
- 掲載されている社名、製品名、技術名は各社の商標または登録商標です。
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