2001年 3月28日

小型クラスでは世界初のオートフォーカスを採用 測定時の作業効率と疲労軽減が飛躍的に向上 測定顕微鏡 「STM6」

測定顕微鏡「STM6電動タイプ」

オリンパス光学工業株式会社(社長：岸本正壽)は、世界最高水準のUIS光学系※1、独自開発の高精度光学式リニアスケール※2の採用により、サブミクロン※3の分解能を実現し、小型クラスとして世界初のオートフォーカスを採用、さらにオートフォーカス採用の測定顕微鏡として世界最小を実現し、豊富なラインアップを揃えた測定顕微鏡「STM6」を新発売いたします。

近年、携帯機器などの普及により電子部品や精密機械部品はますます微細化・多様化が進んでおり、効率良く精度の高い測定顕微鏡が求められております。 「STM6」は小型クラスでは世界で初めて高速・高精度のオートフォーカスをラインアップに加え、測定時の疲労軽減と作業効率を飛躍的に向上させます。また、オートフォーカス採用の測定顕微鏡として世界最小を実現しています。多様化する測定用途に合わせて4通りのラインアップを揃え、観察方法※4に応じたユニット交換や3種類のテーブルも選択可能です。世界最高水準のUIS光学系の採用により高解像を実現するとともに、独自開発の光学式リニアスケールをテーブルや本体に内蔵しアッベのエラー※5を最小限に抑えながら、微小な段差や微細なパターン測定をサブミクロンの分解能で実現します。また、経年変化に強い高剛性ボディとテーブルの採用により、優れた測定精度を長年に渡り維持します。

当社は測定精度を極限まで追求するために、製造から組立に至る環境を国内第一級レベルに整備し、部品ひとつから完成品に至るまで、厳格なトレーサビリティ※6の基に管理しています。また、お客様がいつでもベストな状態で測定して頂くために「定期点検制度サービス」を実施しています。

主な特長

オートフォーカス採用により、作業効率が飛躍的に向上 高さ測定では個人差によるばらつきがなくなり、平面測定でもフォーカスの追従範囲内であれば多少の段差のピント合わせの必要がなく作業効率が飛躍的に向上。 多様化する測定用途に合わせた豊富なラインアップ 平面測定、平面・高さ測定、また目的とする表示分解能(0.1μm、0.5μm)、フォーカシング(電動、マニュアル)に合わせて4つのラインアップを揃えています。また、測定対象の大きさに応じたテーブル(50×50mm、100×50mm、100×100mm)を選択できます。 ハイコントラストな像の実現 高級顕微鏡にも採用していますUIS光学系により、ハイコントラストな像を実現します。また、疲労の軽減にも大きく役立ちます。 サブミクノンの測定分解能を実現 独自開発の光学式リニアスケールをテーブルや本体に内蔵しアッベのエラーを最小限に抑えながら、微小な段差や微細なパターン測定をサブミクロンの分解能で実現。 厳格なトレーサビリティにより高剛性・耐震設計 製造から組立にいたる環境を国内最高レベルに整備し、国家標準につながる標準器での品質管理により高品質レベルを維持しています。また、コンピュータシミュレーション設計により、剛性・耐震性能を向上させています。 オートフォーカスタイプ測定顕微鏡として世界最小を実現 オートフォーカスタイプ測定顕微鏡として世界最小を実現し、省スペース化(W295mm×D430mm)を図れます。 多彩なユニットが提供する拡張性 オートフォーカスやエッジセンサ※7ユニットの後付けが可能です。さらに、ご購入後のシステム変更に対応できる様に、3種類の落射照明装置(明視野・暗視野・微分干渉観察)ユニットを準備しています。 外部通信機能を標準装備 RS-232C※8通信により、コンピュータへのデータ転送を可能にしました。市販の計測ソフトを利用して、作業の効率アップに役立ちます。

※1 UIS光学系：「Universal Infinity System」の略で、当社の無限遠補正光学系を言います。対物レンズと結像レンズの光束が平行で、対物レンズと結像レンズの間に中間鏡筒類を装着しても追加光学系を必要とせず、色収差を対物レンズ・結像レンズ・接眼レンズの各々で独立補正した光学系。 ※2 高精度光学式リニアスケール：テーブルの移動量を読み取るためのスケール。 ※3 サブミクロン：1マイクロメートル(μm)より一桁分小さい単位。(例：0.1μm) ※4 観察方法：測定対象によりユニット交換できる明視野・暗視野・微分干渉観察などの観察方法。 ※5 アッベのエラー：測るべき長さと、尺度として使用するスケールが、測定方向において同一直線上にない場合に生じる誤差。 ※6 トレーサビリティ：標準器又は計測器が、より高位の測定標準によって次々と校正され、国家標準・国際標準につながる経路が確立されていること。 ※7 エッジセンサ：サンプルのエッジをセンサ部に通過させてエッジを検出するセンサ。個人差による位置だしのバラツキを解消できます。 ※8 RS-232C：EIA規格のひとつで、直列データ伝送用の標準インターフェース。

主な仕様

マニュアル2軸 マニュアル3軸 電動3軸 本 体 上下動範囲 155mm 観察可能範囲最大高さ 155mm(金属対物)　100mm(測定対物) Z軸測定範囲 － 155mm(金属対物)　100mm(測定対物) 電動 フォーカス 粗動 (スピード) － － 4.8mm/sec 微動(可変) － － 800μm/400μm/200μm/50μm (ハンドル1回転)4段階 照明 冷光ファイバ 照明 12V100Wハロゲン(落射・透過共) 鏡筒 正立単眼鏡筒・正立三眼鏡筒 (100:0/0:100/10:90) 対物レンズ (UIS) 測定対物 MM6-OBシリーズ(1,3,5,10×) 金属対物 金属対物レンズシリーズ 接眼レンズ(UIS) MM6-OCC10×(クロス入り・視野数22)、 MM6-OC10×(視野数22) テーブル ストローク MM6C-CS50：X50mm、Y50mm/MM6C-CS100R：X100mm、Y50mm/ MM6C-CS100：X100mm、Y100mm 測定精度 50mmストローク：±(3＋L/50)μm/ 100mmストローク：±(3＋2L/100)μm[L：測定長(mm)] カウンタ 最小分解能 0.5μm 0.1μm/0.5μm (選択) 0.1μm 寸法 (本体、MM6C-CS100組み合わせ時) 465(W)× 437(D)× 596(H)mm 465(W)×437(D)× 592(H)mm 465(W)×437(D)× 696(H)mm 質量 (本体、MM6C-CS100、付属ユニット組み合わせ時) 94kg 95kg 97kg 定格 100-120/220-240V～0.5/0.3A 50/60Hz 100-120/220-240V 1.0/0.6A　50/60Hz

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