2002年 6月27日

高速エクステンドフォーカスで、高解像力と3D観察を実現 走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS 1200」

走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS 1200」

オリンパス光学工業株式会社(社長：菊川 剛)は、共焦点光学系(注1)と世界最高レベルのUIS光学系(注2)により、フレアのないクリアな共焦点画像走査型共焦点レーザ測定顕微鏡「OLS 1200」を新発売いたします。

高密度化する半導体や一般材料等の測定、微細な三次元形状の観察など、走査型共焦点レーザ顕微鏡は非接触かつ簡単に表面形状を三次元計測できる装置として注目されています。 オリンパスの共焦点レーザ顕微鏡「OLS 1200」は微少なスポット光をXY走査し、合焦面のみの像を表示するために、フレアが少なくコントラストの高い画像が得られます。これらの焦点深度の浅い1枚の断層画像をＺ方向積層させることにより、全ての凹凸に焦点の合ったクリアな画像を得ることが可能です。また、断面計測、体積計測、粒子解析といった多彩な計測／解析機能を持ったソフトウェアで、使い勝手の良い計測環境を提供します。

主な特長

フレアが少なく、コントラストの高いエクステンドフォーカス像 高画質を実現するアルゴンイオンレーザを採用 新規アルゴリズムによる高速画像取り込み 計測用途を拡げる多彩なアプリケーション

製品名 発売日 走査型共焦点レーザ顕微鏡 「OLS 1200」 2002年 8月 1日

主な特長の詳細

フレアが少なく、コントラストの高いエクステンドフォーカス像 共焦点レーザ顕微鏡では、微小なスポット光をXY走査し、合焦面のみの像を表示するために、フレアのないコントラストの高い画像が得られます。また、このようにして得られた焦点深度の浅い1枚の断層画像をZ方向積層させることにより、全ての凹凸に焦点の合ったクリアな画像を得ることが可能です。

(注1) 共焦点（コンフォーカル）光学系： 合焦位置と光学的に共役な位置（共焦点面）にピンホールを設けることで、合焦位置以外からの余分な光をカット。資料上の焦点の合った部分のみピンホールを通過し、検出されるので、ピンボケやフレアのないクリアな画像が得られます。 オリンパスはコンフォーカル効果を最大限に引き出すために最適化された円形ピンホールを採用して、さらに解像力を向上させています。

高画質を実現するアルゴンイオンレーザを採用 より高分解能の画像が得られるアルゴンイオンレーザ（488nm）を、オリンパスではこのクラスのレーザ顕微鏡に初めて採用し標準装備しました。 高速画像取り込み エクステンドフォーカス画像の取り込み時間も従来比で1/3を実現し、ストレスのない計測が可能となりました。 計測用途を拡げる多彩なアプリケーション 断面計測、体積計測、粒子解析といった多彩な計測／解析機能を持ったソフトウェアで、使い勝手の良い計測環境を提供します。

主な仕様

本体 Zステージ 上下動範囲 35mm 試料最大高さ 70mm Zレボルバ 測定ストローク 10mm 駆動分解能 0.01μm 照明 レーザ*1 He-Ne 623.8nm AR+ 488nm TV観察用 (オプション) 12V 100W ハロゲンランプ 対物レンズ UMPlanFLシリーズ または LMPlanFLシリーズ ズーム 光学ズーム 1x～6x ステージ*2 マニュアルステージ  MX-SIC8(200×200mm)  MX-SIC6A(155×155mm) 電動ステージ  OLS-ASS(200×200mm) フレームメモリ 1024×1024 12bit 繰り返し性 X-Y 3σ(n-1)=0.03μm Z 3σ(n-1)=0.14+0.04L L=測定長(μm) 3σ(n-1)=0.05+0.002L L=測定長(μm) 3σ(n-1)=0.14+0.04L L=測定長(μm) AF レーザ反射式 レーザ安全クラス クラス2 外形寸法 1,120×1,660×1,218mm 質量 497kg *1 AR+もしくはHe-Neの選択可 *2 マニュアルもしくは電動の選択可

(注2) UIS光学系 「 Universal Infinity System 」の略で、当社の無限遠補正光学系を言う。対物レンズと結像レンズの光束が平行で、対物レンズと結像レンズの間に中間鏡筒類を装着しても追加補正光学系を必要とせず、色収差を対物レンズ・結像レンズ・接眼レンズの各々で独立補正した光学系。

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