2003年11月26日 更新日：2003年11月27日

408nm半導体レーザに最適化したシステム搭載で世界最高※1分解能0.12μmを実現 光学顕微鏡の光学系と一体化しカラー3D観察も可能 走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS3000」新発売

走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS3000」

オリンパス株式会社(社長：菊川  剛)は、新開発の光学系で世界最高分解能0.12μmを実現し、レーザ顕微鏡ながら光学顕微鏡の光学系も一体化してカラー3D観察も可能となった走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS3000」を2004年1月26日から新発売いたします。

走査型共焦点レーザ顕微鏡は高密度化する半導体や微細加工されたMEMSなどの三次元形状の観察を可能にする装置として年々注目が高まっています。「OLS3000」は、昨年2002年8月に当社より発売された走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS1200」に様々な研究開発の成果を加え、より精度の向上を図った新製品であり、電子部品・新素材・MEMS市場などにおけるユーザの方々へより良いソリューションを提供して参ります。

なお、「OLS3000」は2003年12月3日（水）から5日（金）まで「セミコン・ジャパン2003」（幕張メッセ国際会議場）にて出展いたします。

新ブランド「」を創設

「OLS3000」導入にあたり、当社レーザ顕微鏡に新ブランド「LEXT」を創設しました。「Laser」と「Next generation」の造語であるこのブランドには、「お客様へ更に使いやすく、よく見えるレーザ顕微鏡を次世代へも提供していく」という当社の強い思いが込められています。

主な特徴

・ 半導体レーザに最適化したシステム搭載で世界最高※1分解能0.12μmを実現 ・ カラー3D観察、明暗視野／微分干渉観察で、信頼性あるスピーディーな対応が可能 ・ 小型化と耐震性アップを同時に実現

※1 走査型共焦点レーザ顕微鏡において（2003年11月20日現在）

発売の概要

製品名 発売日 走査型共焦点レーザ顕微鏡 「OLS3000」 2004年1月26日

主な特徴の詳細

1.  半導体レーザに最適化したシステム搭載で世界最高分解能0.12μmを実現   光源に使用した408nm半導体レーザに最適になるよう開発された408nmバイオレットオプトシステムを搭載し、従来では不可能であった平面分解能0.12μmを実現。レーザ顕微鏡において、世界最高分解能を持ち合わせています。Z測定においても繰り返し性を向上させ、標準誤差で3σ=0.05+0.002Lμm（L=測定長μm）を実現しました。

2.  カラー3D観察、明暗視野／微分干渉観察で、信頼性あるスピーディーな対応が可能   従来のレーザ顕微鏡下観察はモノクロ画像のみでしたが、光学顕微鏡の光学系も一体化したことで、明視野・暗視野・微分干渉観察といった多彩な観察法ができ（当社OLSシリーズ初）、より信頼性を高めるデータ収集が可能となりました。更に、この明視野像を3D画像に貼り付けるカラー3D観察や、暗視野や微分干渉観察がレーザ観察と同一画面での観察できる世界初の機能により、微細な測定でもより迅速に処理できます。

3.  小型化と耐震性アップを同時に実現   設置面積で従来比の約60％の小型化を実現いたしました。これは当社MEMS※2技術により、従来のX、Y方向での個別スキャナを新開発の「2次元スキャナ」という形で一体化し、光学系の最適化と小型化に成功したためです。この小型化の実現により、卓上設置も可能になりました。なお、このスキャナは今回初めて製品へのアプリケーションとして搭載されております。また、従来は焦準部粗動をステージ側に設けていましたが、耐震性を考慮しヘッド側に設けています。耐震性をアップさせることで、設置環境の影響を軽減させるほか、測定信頼性も向上させました。

※2 MEMS：Micro Electro Mechanical System の略。微小電子機械システム。

ご参考 共焦点（コンフォーカル）光学系： 合焦位置と光学的に共役な位置（共焦点面）にピンホールを設けることで、合焦位置以外からの余分な光をカット。試料上の焦点の合った部分のみピンホールを通過し、検出されるので、ピンボケやフレアのないクリアな画像が得られます。 オリンパスはコンフォーカル効果を最大限に引き出すために最適化された円形ピンホールを採用して、さらに解像力を向上させています。

「OLS3000」の主な仕様

型式 OLS3000 測定部 構造 専用フレーム 外形寸法 464×559×614.5　※除震台無し 質量 56.9kg 試料最大高さ 100mm 耐荷重 10kg XYステージ マニュアル：100×100(mm)、電動：150×100(mm) 対物レンズ 本数 5本 倍率 5x 10x 20x 50x 100x 作動距離 20.0 10.1 3.1 0.33 0.35 開口数 0.15 0.3 0.46 0.95 0.95 観察測定範囲 横(H)：μm 2,560 1,280 640 256 128 縦(V)：μm 2,560 1,280 640 256 128 モニタ上倍率 100～ 600 200～ 1,200 400～ 2,400 1,000～ 6,000 2,000～ 12,000 光学ズーム 1x～6x 共焦点方式 ピンホール 受光素子 フォトマルチプライヤ 測定用レーザ 光源 紫色半導体レーザ 波長 / 出力 408nm/0.9mW (JISクラス2) 画像取り込み方法 CFOサーチ（Fine、Fast） ステップサーチ 画像取込モード Contrast Mode, Enhance Mode 平面(XY)表示分解能 1024×1024 ( ピクセル) フレームメモリ 輝度：1024×1024×12bit 高さ：1024×1024×16bit フレームレート 12Hz 平面(XY)測定 最小分解能 0.12μm 測定繰り返し性 3σ( n-1 ) = 0.03　※対象線幅の限定無し 高さ(Z)測定 測定範囲 10mm 最小移動分解能 0.01μm 最小表示分解能 0.001μm 高さスケール リニアスケールによるオープン制御 測定繰り返し性： μm 3σ( n-1 ) = 0.05+0.002L 本体制御 オートフォーカス / オートゲイン / バンドスキャン 画像処理 / 2次元画像処理 / 3次元画像処理 幅測定 / 段差測定 / 表面積測定 / 体積測定 / 線粗さ測定 / 面粗さ測定 / レポート機能 / 2チャンネル表示

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