オリンパス株式会社（社長：マイケル・ウッドフォード）は、可視から近赤外領域で多様な分光特性を高速で測定できる、近赤外顕微分光測定機「USPM-RU-W」を、2011年8月1日に発売します。

顕微分光測定機は、開発・製造現場において、レンズなどの光学素子のコーティングを評価したり、電子基板上の微細なエリアの反射率や膜厚を測定するために用いられる機器です。開発の意図通りの性能になっているか、品質基準を満たしているか、など品質評価をサポートします。

今回発売する近赤外顕微分光測定機「USPM-RU-W」は、USPMシリーズのラインアップとして、高度な測定ニーズにこたえるため、可視から近赤外領域(380nm-1050nm)まで幅広い波長での反射率測定ができるようになったほか、物体色測定、多層膜厚測定機能を標準で搭載しています。さらに、オプションの透過率測定、45度反射率測定を加えると、1台で全5種類の測定機能を搭載しています。

また、本測定機専用の対物レンズでフォーカスすることで、微小領域や曲面測定が可能です。加えて、全波長を同時に分光するなどによって高速で測定することができるため、一般の分光光度計に比べて作業性に優れるという特徴があります。

発売の概要

製品名	発売日
近赤外顕微分光測定機「USPM-RU-W」	2011年8月1日

主な特長

1. 可視から近赤外領域で、「反射率」「物体色」「膜厚」「透過率」「45度反射率」の5種類の測定が可能
2. 微小領域や曲面の測定が可能
3. 全波長を同時に分光することなどにより高速測定を実現

開発の背景

近年、デジタル一眼レフカメラ用交換レンズや赤外線カメラに搭載されるレンズの高度化や、コンパクトデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話に搭載されるレンズの小型薄型化などにより、品質評価のための測定もより高度かつ多様性が求められています。

当社は、1990年から可視光での表面反射率測定に特化した分光反射率測定機「USPM-RU」を開発、販売してきました。その後も、社内生産ラインでのレンズコーティング評価による長年にわたる利用実績と測定ノウハウを生かし、改良を積み重ねてきました。

今回、より高度かつ多様な測定ニーズに対応するため、測定波長や測定機能の拡張を実現する製品を開発しました。

主な特長の詳細

1. 可視から近赤外領域で、「反射率」「物体色」「膜厚」「透過率」「45度反射率」の5種類の測定が可能
380nmから1050nmまでの広い波長領域において、再現性の高い分光測定を可能にしました。また、1台で反射率、物体色、多層膜厚、透過率^※1、45度反射率^※1の5種類の測定ができるため、多様な分光特性検査に使用できます。透過率と45度反射率の測定には、偏光切替機能をつけることも可能です。

※1	オプションを追加することで使用できる機能です

2. 微小な領域や曲面の反射率測定が可能
本測定機専用の対物レンズでフォーカスすることで微小領域（φ17µm～70µm）の測定を行い、平面微細部だけでなく球面、非球面など曲面も測定できます。また、新開発の対物レンズは、携帯電話のカメラ用レンズなど、超小型薄型のレンズでも測定できるようになりました。

3. 全波長を同時に分光することなどにより高速測定を実現
フラットフィールドグレーティング^※2およびラインセンサ^※3を用いて、全波長を同時に分光することで、高速測定を実現しています。また、専用の対物レンズに輪帯（リング）照明を組み合わせた独自の光学系の採用により、測定試料の裏面からの反射光をカットしているため、裏面に反射防止の処理をすることなく最薄0.2mm^※4の反射率が測定できます。事前処理の手間もかからず、試料を加工する必要もありません。

※2	凹面タイプの分光素子で、一度に複数の波長を同時に測定可能
※3	対象物の光学像を横断するある直線上の光信号を電気信号に変換する装置
※4	弊社測定条件下での40倍対物レンズ使用時

主な仕様

近赤外顕微分光測定機「USPM-RU-W」（反射率測定）

測定波長	380～1050nm
測定方法	リファレンス試料に対する比較測定
測定範囲	下記対物レンズ仕様を参照
測定再現性※5	反射率測定	対物レンズ10倍、20倍使用時	±0.02%以下（430～1010nm） ±0.2%以下（上記以外）
		対物レンズ40倍使用時	±0.05%以下（430～950nm） ±0.5%以下（上記以外）
	膜圧測定	±1%以下
波長表示分解能	1nm
照明アクセサリー	専用ハロゲン光源 JC12V 55W（平均寿命700h）
シフトステージ	積載面サイズ：200（W）×200（D）mm 耐荷重：3kg 動作範囲：（XY）±40mm、（Z）125mm
装置重量	本体：約26kg（PCを除く） コントロール電源ボックス：約6.7kg
装置寸法	本体部：360(W)×446(D)×606(H)mm コントロール電源ボックス：250(W)×270(D)×125(H)mm
電源仕様	AC100-240V(110VA) 50/60Hz
使用環境	水平で振動がない場所 温度：15～30℃ 湿度：15～60%RH（結露なきこと）

※5	当社測定条件下での測定

対物レンズ

型式	USPM-OBL10	USPM-OBL20	USPM-OBL40
倍率	10倍	20倍	40倍
NA	0.12	0.24	0.24
測定範囲（スポット径）	70µm	34µm	17µm
作動距離	14.3mm	4.2mm	2.2mm
試料の曲率半径	±5mm～	±1mm～	±1mm～