新搭載の「MIX観察」^※1 機能で今まで見つけにくかった欠陥を検出 半導体・FPD検査顕微鏡 「MX63／MX63L」を新発売

2017年6月27日

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オリンパス株式会社（社長：笹 宏行）は、科学事業の新製品として、半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）の検査用の工業顕微鏡「MX63／MX63L」を、2017年6月27日から全世界で発売します。

工業用顕微鏡は、多種多様な工業製品やその部品の観察や検査に用いられます。当社は、お客様の多様なニーズに最適なソリューションを提供すべく、優れた光学性能を持つ多彩なユニットや、画像解析ソフトウェアと組み合わせた、さまざまな工業用顕微鏡システムを販売しています。

今回発売する「MX63／MX63L」は、主に半導体・FPDなど、サイズが大きいサンプルの検査に特化した工業用顕微鏡で、MX63は200mm、MX63Lは300mmまでの大きさのウエハーに対応しています。MXシリーズとして初めて「MIX観察」対応ユニットを搭載したことで、これまでの観察方法では見つけにくかった欠陥などを、検出することが可能になりました。また、高輝度タイプの白色LED光源の採用により、省電力・長寿命であるだけでなく、観察時の光源の明るさを変えても、画像の色合いは変わることなく、常に安定した画像を得ることができます。さらに新搭載の「フォーカスエイド」機能を使えば、ピント合わせでのサンプル衝突が無く、迷わずにピント合わせが可能です。

発売の概要

商品名	発売日
半導体・FPD検査顕微鏡 「MX63／MX63L」	2017年6月27日

主な特長

• 従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能にする「MIX観察」ユニットを新たに搭載
• LED光源の採用により、光源の明るさに左右されない安定した観察を長期間持続
• サンプルへの衝突がなく、迷わずピント合わせが可能な「フォーカスエイド」機能を新たに搭載

※1 色情報を含めた概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」と、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」の方法を組み合わせ、それぞれの観察法のメリットを活かした新しい観察法。

主な特長の詳細

1. 従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能にする「MIX観察」ユニットを新たに搭載

MXシリーズとしてはじめて、「MIX観察」対応ユニットを搭載しました。「MIX観察」は、色情報を含めた概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」と、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」の方法を組み合わせ、それぞれの観察法のメリットを活かした新しい観察法で、従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能になります。また、「暗視野観察」の専用照明は任意の4方向を選択できるため、対象物をより効果的に強調できます。

2. LED光源の採用により、光源の明るさに左右されない安定した観察が長期間持続

落射照明観察^※2 および透過照明観察^※3 の光源に、高輝度な白色LEDを採用しました。LEDの特徴である省電力・長寿命はもちろん、観察時の光源の明るさを変えても、画像の色合いが変わらないため、常に安定した画像を得ることができます。

※2 対物レンズ側から光を照射して観察する方法で、主に光を透過しない対象物の観察に使用。

※3 観察対象の背面から光を照射して観察する方法で、主に透過性の高い対象物の観察に使用。透過性の低い対象物でも輪郭のみを観察で利用する場合もある。

3. サンプルへの衝突がなく、迷わずピント合わせが可能な「フォーカスエイド」機能を新たに搭載

視野内に表示される格子パターンへピントを合わせればサンプルにもピントが合います。ベアウエハーやガラス、フィルムなどパターンがないサンプルで威力を発揮します。誤ってサンプルを対物レンズと衝突することも防止できます。

「MX63／MX63L」の主な仕様

観察方法	明視野、暗視野、MIX、偏光、微分干渉、蛍光、ＩＲ
光学系	UIS2光学系
透過／落射光源	LED光源
ステージ	最大ストローク MX63:210x210mm／MX63L:356x305mm
質量	MX63：約50kg／MX63L：約64kg

（科学事業とは）
主な製品は光学顕微鏡と工業用内視鏡および非破壊検査機器です。科学事業はこれらを通して、医療・生命科学・産業分野における研究開発、生産現場における品質向上、航空機や大型プラントなどの検査による社会インフラの安心・安全確保に貢献しています。